晶圆切割

晶圆切割

晶圆切割

主要切割芯片,硅片(抛光片/SiO2/SOI/EPI/Pattern/镀金属片),LED基板,PCB板,玻璃,陶瓷,蓝宝石,

* 方片尺寸大小从1mm至210mm,精度高,无粉尘粒子沾污,不影响硅片本身的性能及使用效果,

* Y步进精度可以达到0.1µm,Z步进精度为1µm,

* 研磨减薄可减至薄厚度为50µm,精度3~5µm。

上一条:没有了
下一条:没有了